- контактное экспонирование резиста
- (для формирования топологии ИС) contact writing
Русско-английский словарь по радиоэлектронике. — Руссо. 2005.
контактное экспонирование резиста
Look at other dictionaries:
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
